日本HEPHAIST内置升降机构的UVWZ平台四轴并联机构

2021/6/29 9:51:00

UVW平台内置Z轴机构,更有效提高工件的超精密对位,缩短工位间调整时间、提升视觉聚焦能力。

 

特长:将高精度Z轴机构设计于双承重模块的超薄型UVW平台内部,减小断面高度。并列水平放置机构,四个轴的精度可以达到均衡额超精密。

 

产品型号:NAF4Z-ZZA60A     PDF图纸下载:NAF4Z-ZZA60A.pdf

項目 X軸 Y軸 θ軸 Z軸
サイズ W320mm×D320mm×H131~161mm
ストローク ±5mm ±5mm ±2.5° +2mm~+30mm
繰返し位置決め精度 ±1μm ±1μm ±1″(計算値) ±1μm
Z軸直交度 60μm/30mm
移動時負荷容量 300N(垂直方向等分布荷重)
静止時負荷容量 300N(垂直方向等分布荷重)
本体重量 約52kg
材質-表面処理 鉄系材料-低温黒色クロムめっき処理
アルミ系材料-黒アルマイト処理
潤滑材 AFFグリス(低発塵グリス)
モータ型式 HG-KR053 HG-KR23B
三菱電機製
ドライバ型式 MR-J4-10A MR-J4-20A
三菱電機製
センサ型式 EE-SX672(OMRON)

日本进口导向部件

滚珠直线导轨
直线轴承
交叉滚子导轨
平面滚针滚子轴承
滚珠花键
精密滚珠滑组
圆柱滚子直线导轨
直线旋转衬套
交叉滚子直线模组
滚珠丝杠
交叉滚子轴承
凸轮从动轴承
推力轴承
球铰轴承
深沟球轴承

日本进口轴承

关节轴承
复合轴承
微型球轴承
滚针轴承
滚子轴承
单轴精密定位模组
洁净室用定位平台
升降定位平台
旋转定位平台
微型精密模组

精密定位平台

XY轴组合精密模组
直线电机
UVW平台
UVWZ平台
力控音圈电机