UVW平台 NAF3C系列
| 型号及3D图下载 | 台面尺寸mm | 最高速度mm/s | 丝杠导程mm | 重复定位精度mm |
| 100*100 | 10 | 1 | ±0.001 | |
| 160*160 | 10 | 1 | ±0.0007 | |
| 160*160 | 10 | 1 | ±0.0007 | |
| 200*200 | 10 | 1 | ±0.001 | |
| 300*300 | 10 | 2 | ±0.001 | |
| 400*400 | 10 | 2 | ±0.001 |
·日本HEPHAIST低断面XYθ视觉对位平台（UVW平台）是由三个执行器进行平面式分部排列组装，通过三轴联动（U轴、V轴、W轴）的方式，进行X、Y、θ以及斜方向动作。实现了产品的小型化、低断面、低成本的优势。动作原理是求得三个轴的pin坐标，向各执行器发出移动量的指令。可对应其他特殊尺寸及异性台面。
新产品UVW平台 HW系列
| 型号及3D图下载 | 台面尺寸mm | 最高速度mm/s | 楔形机构 | 重复定位精度mm |
| 160*160 | 1 | 1:4 | ±0.00035 | |
| 100*100 | 1 | 1:4 | ±0.00025 | |
·日本HEPHAIST HW系列UVW平台，为微量进给平台。最小进给量实测值50nm。三个执行机构首次搭载滚珠丝杠+楔形减速机构，除此之外，平台内部组装有直线导轨导向及交叉滚子直线导轨导向，实现平台行走的高分辨率、高追随性、高精度、高刚性。与现有产品NAF3C系列相比，侧向负载的刚性提高1.5至2倍。
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