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IKO直驱型角度校准平台SA系列的解说

创建时间：2018-06-28 11:48

IKO直接驱动型校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L，旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承，驱动部采用直接驱动方式，是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。

最适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。

直线电机驱动的X、Y轴有0.1μm和0.5μm两种分解能，可根据用途选择。校准工作台SA･･･DE的直线导向部使用直线导轨L和将直线电机驱动的可动台做双轴正交组合的XY轴，旋转导向部的θ轴采用交叉滚子轴承和直接驱动方式，是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。
通过高分解能线性编码器搭配全闭环控制，实现了没有后移间隙的高精度定位。
而且，直线移动用的X轴可动工作台和旋转定位部θ轴转台均已标准化，可方便地进行X轴和θ轴的组合或架构XY轴的校准工作台。

IKO直线电机工作原理：

直线电机平台包括定子和动子两个主要部分，在电磁力的作用下动子带动负载进行运动。IKO直线电机平台可实现直线加旋转组合模组，为保证各单元间的高精度运行，都配置了高精度光栅尺进行定位。旋转平台的可动部分组装有IKO交叉滚子轴承，使得旋转动作更精密。

直线电机驱动的X轴及Y轴可根据使用用途选择分解能，分解能有0.1μm和0.5μm两个种类。

紧凑的XYθ工作台该校准工作台在直线导轨部使用小型直线导轨设备的直线导轨L，在旋转导轨部使用交叉滚子轴承，在驱动部采用直接驱动方式，实现了低断面的紧凑型XYθ运动。

XYθ可自由组合以直线移动用X工作台和旋转定位部θ工作台作为基本构成，品种齐全。可轻松构建X轴和θ轴的组合及XY轴的校准工作台。

高分解能、高响应性通过对内置高分解能线性编码器的直接驱动方式的工作台进行全闭环控制，实现了高分解能和高精度。

薄型、紧凑无铁芯直线电机和直线导轨L，采用交叉滚子轴承。与滚珠丝杠驱动的工作台相比，实现了极低的断面高。

具体参数如下：

驱动器采用日本HITACHI（日立）AC伺服放大器ADV系列，ADVA备有脉冲串规格和高速网络EtherCAT规格两种，MR-J4仅限高速网络SSCNETⅢ/H规格。

产品主体及配件包含：校准工作台本体、编码器转接线、日立ADVA系列驱动器

用户自备配件包含：USB miniB电缆计算机连接电缆、I/O连接器（推荐型号为TAE20R5-CN，是住友3M制10150-3000PE连接器和10350-52F0-008护罩的组合）、电源线、高位设备（PLC、开关、传感器等）、I/O连接器连接电缆。

设定软件为日立ProDriveNext，可从日立产机系统公司网站下载，也可联系我司技术人员提供。目前仅支持英文和日文。