日本HEPHAIST 2021年新品-超精密UVW平台HW系列

日本HEPHAIST  HW系列UVW平台，三个执行机构首次搭载滚珠丝杠+楔形减速机构，除此之外，平台内部组装有直线导轨导向及交叉滚子直线导轨导向，实现平台行走的高分辨率、高追随性、高精度、高刚性。

特长：

微量移动的高追随性（50nm进给量的最随性实测值）

高刚性

1/4楔形比结构，侧向负载能力更有优势。

与现有产品NAF3C系列相比，侧向负载的刚性提高1.5至2倍。

高定位精度

采用楔形式减速机构，实现高分辨率。

楔形进给机构，减小丝杠的进给不稳定性。

采用交叉滚子直线导轨导向，抑制行走振动减衰性。

用途案例：

半导体、FPD检查装置、光学检测机构、激光干涉分析仪、纳米微进给装置。

※1：弊社からの補正値を入れた場合の精度となります。
※2：分解能0.01μm／pulse設定時となります。
※3：垂直等分布の負荷容量となります。