日本HEPHAIST 2021年新品-超精密UVW平台HW系列

日本HEPHAIST  HW系列UVW平台，为微量进给平台。最小进给量实测值50nm。三个执行机构首次搭载滚珠丝杠+楔形减速机构，除此之外，平台内部组装有直线导轨导向及交叉滚子直线导轨导向，实现平台行走的高分辨率、高追随性、高精度、高刚性。与现有产品NAF3C系列相比，侧向负载的刚性提高1.5至2倍。

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