UVW平台内置Z轴机构,更有效提高工件的超精密对位,缩短工位间调整时间、提升视觉聚焦能力。

 

特长:将高精度Z轴机构设计于双承重模块的超薄型UVW平台内部,减小断面高度。并列水平放置机构,四个轴的精度可以达到均衡额超精密。

 

产品型号:NAF4Z-ZZA60A     PDF图纸下载:NAF4Z-ZZA60A.pdf

項目X軸Y軸θ軸Z軸
サイズW320mm×D320mm×H131~161mm
ストローク±5mm±5mm±2.5°+2mm~+30mm
繰返し位置決め精度±1μm±1μm±1″(計算値)±1μm
Z軸直交度60μm/30mm
移動時負荷容量300N(垂直方向等分布荷重)
静止時負荷容量300N(垂直方向等分布荷重)
本体重量約52kg
材質-表面処理鉄系材料-低温黒色クロムめっき処理
アルミ系材料-黒アルマイト処理
潤滑材AFFグリス(低発塵グリス)
モータ型式HG-KR053HG-KR23B
三菱電機製
ドライバ型式MR-J4-10AMR-J4-20A
三菱電機製
センサ型式EE-SX672(OMRON)

日本HEPHAIST内置升降机构的UVWZ平台四轴并联机构

2021/6/29 9:51:00

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